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[期刊论文] 作者：伊福廷,
来源：北京同步辐射装置年报 年份：2000
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[期刊论文] 作者：伊福廷,
来源：微细加工技术 年份：2004
介绍了一种基于微加工技术的新方法--纳米岛光刻技术.利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等...
[学位论文] 作者：伊福廷,
来源：中国科学院高能物理研究所 年份：2000
该论文对LIGA技术进行了较详细的综合论述,给出了许多研究成果.包括了掩模的制造, 同步辐射性能,深度光刻技术,深度电铸技术等.LIGA技术是一项复杂的技术 ,仅掩模的制造就包...
[会议论文] 作者：伊福廷,
来源：2014年全国电火花成形加工技术研讨会 年份：2014
LIGA技术自其发明和公开报道已有几十年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统-MEMS(Micro electromechanical System)加工热潮.经过十几年的努力,LIGA技...
[期刊论文] 作者：伊福廷,张菊芳,
来源：模具工程 年份：2006
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史，已在世界各地发展起来，带动和激发了微机电系统——MEMS（Microelectromechanical System）加工热潮。经过十几年的努力，LIGA技术...
[期刊论文] 作者：伊福廷,晋明,
来源：微细加工技术 年份：1995
近年来，电铸在微细加工中的应用得到了较快发展，尤其在近几年高速发展的ＬＩＧＡ技术的掩模加工和其应用产品中，该技术充分体现出了字的优越性能和潜在的应用前景。本文结合ＬＩＧＡ技术掩模的加......
[期刊论文] 作者：谢常青,伊福廷,
来源：微细加工技术 年份：1999
报道了用Ｘ射线母掩模复制子掩模的工艺和用北京同步辐射装置（ＢＳＲＦ）３ＢＩＡ光刻束线获得的０．５μｍ的光刻分辨率的实验结果。...
[期刊论文] 作者：陈迪,伊福廷,
来源：微细加工技术 年份：2000
通过在北京高有所３Ｗ１束线上进行的Ｘ光深层光刻工艺研究，获得了测壁光滑、陡直，厚度达１００μｍ，深度比达２０的光刻胶和金属微结构，表明该光束线适应于ＬＩＧＡ技术的研究。......
[期刊论文] 作者：刘刚,伊福廷,
来源：微细加工技术 年份：2000
介绍了利用ＬＩＧＡ技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究，讨论了微流量计的结构和工作原理。设计和研制了一种微流量计。...
[期刊论文] 作者：伊福廷,Mino Green,
来源：微细加工技术 年份：2004
介绍了一种基于微加工技术的新方法--纳米岛光刻技术.利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等...
[会议论文] 作者：伊福廷,张菊芳,
来源：全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会 年份：2005
经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不...
[会议论文] 作者：伊福廷,晋明,
来源：第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份：1997
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[会议论文] 作者：伊福廷,张菊芳,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
深度光刻技术是LIGA技术的关键和核心,该技术的研究是一个综合过程,包括光源性能,曝光设备性能,光刻胶性能,显影技术等多方面的影响.本文通过对光源性能的研究和光刻胶性能的研究,探讨北京同步辐射深度光刻的潜能,挖掘出LIGA技术的深度光刻能力,满足各方面对LIG......
[期刊论文] 作者：刘刚,伊福廷,等,
来源：北京同步辐射装置年报 年份：1998
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[期刊论文] 作者：伊福廷,吴坚武,
来源：微细加工技术 年份：1993
LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、...
[期刊论文] 作者：伊福廷,晋明,等,
来源：微细加工技术 年份：1996
悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器－－微条气体室的探测气体。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度可控制在微米量级，因此能够得到非常好的空间分辨率，......
[期刊论文] 作者：刘泽文,伊福廷,
来源：微细加工技术 年份：2000
深Ｘ射线光刻是制作高深宽比ＭＥＭＳ结构的一个重要的方法。提出一种基于硅工艺和双面对准技术的ＬＩＧＡ掩模技术，工艺十分简单。采用该掩模，可进一步解决深Ｘ射线光刻中的重复对准多次曝光问题，给......
[期刊论文] 作者：伊福廷,唐鄂生,
来源：微细加工技术 年份：1999
在航天、国防、医学、核物理学领域，有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下，精神机械加工、ＬＩＧＡ技术以及硅技术有了长足发展，制造出许多部件和产......
[期刊论文] 作者：陈迪,伊福廷,等,
来源：同步辐射装置用户科技论文集 年份：2000
通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究，获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm，深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构，表明该光束线适用于LIGA技术的研究。...
[会议论文] 作者：吴沭新,伊福廷,
来源：第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份：1997
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