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[期刊论文] 作者：Andrew Stamper,Sang Chong,Kour,
来源：集成电路应用 年份：2008
更细的设计规则、更小的缺陷类型、更多的噪声源和新的工艺整合方案，给原本有效的在线晶片检测方法带来了严峻挑战。通过描绘在线检测到的良率限制缺陷的量值以及它们对在线和......
[期刊论文] 作者：Sang Chong,Eric Rying,Alexa Pe,
来源：电子工业专用设备 年份：2008
描述一种广泛应用于探索制程设计方面的系统性及随机性故障的短流程测试芯片与先进的检测工具平台相结合的综合方法，以对在65nm技术节点上的关键性缺陷进行特征化描述和监控。......
[期刊论文] 作者：Sang Chong,Eric Rying,Alexa Perry,Stephen Lam,Mary Ann St Lawrence,,
来源：电子工业专用设备 年份：2008
描述一种广泛应用于探索制程设计方面的系统性及随机性故障的短流程测试芯片与先进的检测工具平台相结合的综合方法,以对在65nm技术节点上的关键性缺陷进行特征化描述和监控,...
[期刊论文] 作者：Andrew Stamper,Sang Chong,Kourosh Nafisi,Petra Feichtinger,WeeTeck Chia ,David Randall,Aneesh Khullar,
来源：集成电路应用 年份：2008
更细的设计规则、更小的缺陷类型、更多的噪声源和新的工艺整合方案,给原本有效的在线晶片检测方法带来了严峻挑战。通过描绘在线检测到的良率限制缺陷的量值以及它们对在线...
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