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[期刊论文] 作者：于民,黄如,张兴,王阳元,Kunihiro Suzuki,Hideki Oka,
来源：半导体学报 年份：2004
在考虑硅原子团簇的尺寸对其俘获半径的影响的基础上提出了一个改进的模型 ,来描述团簇的退火行为 ,并给出了点缺陷的表面复合速率的表达式 .为了验证此模型 ,给出了动力学蒙...
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