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Fabrication of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers with Through-Glass-Via Interconnects
[会议论文] 作者：Omer Oralkan,Xiao Zhang,F.Yalcin Yamaner, 来源：2015两岸超声技术与医学研讨会 年份：2015
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Fabrication of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers with Through-Glass-Via Interconnects
[会议论文] 作者：Xiao Zhang,F.Yalcin Yamaner,Omer Oralkan, 来源：2015两岸超声技术与医学研讨会 年份：2015
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