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[期刊论文] 作者：王万录,X.Jiang,C.P.Klages,
来源：科学通报 年份：1994
用化学气相方法合成的金刚石薄膜也具有天然金刚石的各种优异特性.它作为一种宽带隙半导体材料可制备出高温、高速、大功率和抗辐射的电子器件.最近研究还发现,P型金刚石膜有...
[会议论文] 作者：龚辉,范正修,姜辛,C.P.Klages,
来源：第六届全国激光科学技术青年学术交流会 年份：2001
本文报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究了纳米金刚石薄膜的成核和生长过程,并通过扫描电镜、喇曼光谱和表面粗糙度测试仪观察了纳米金刚石薄膜的结构特征.最后成功地制......
[会议论文] 作者：龚辉[1]范正修[1]姜辛[2]C.P.Klages[2],
来源：第六届全国激光科学技术青年学术交流会 年份：2001
本文报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究了纳米金刚石薄膜的成核和生长过程,并通过...
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