【摘 要】
：
本文报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究了纳米金刚石薄膜的成核和生长过程,并通过扫描电镜、喇曼光谱和表面粗糙度测试仪观察了纳米金刚石薄膜的结构特征.最后成功地制备了直径100毫米、平均晶粒尺寸10纳米的光滑纳米金刚石薄膜.
【机 构】
：
上海光学精密机械研究所(上海) Fraunhofer-IST of film and surfac
【出 处】
：
第六届全国激光科学技术青年学术交流会
论文部分内容阅读
本文报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究了纳米金刚石薄膜的成核和生长过程,并通过扫描电镜、喇曼光谱和表面粗糙度测试仪观察了纳米金刚石薄膜的结构特征.最后成功地制备了直径100毫米、平均晶粒尺寸10纳米的光滑纳米金刚石薄膜.
其他文献
为了补偿啁啾脉冲放大过程中的增益窄化现象,本文提出了采用透射式干涉滤光片与双折射晶体两种方法对激光脉冲进行整形.分别在系统的前端、再生放大、主放大器三处对光谱进行整形.
在激光与等离子体相互作用过程中需要考虑电子热传导的非局域效应.我们从Fokker-Planck方程的球谐函数展开来寻找合适的非局域核函数.
对不同的比例的Si(OCH):HO:CHOH:NH:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜溶液粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,发展了提高膜层透过率和激光破坏阈值的制备工艺和后处理方法.涂制多孔SiO和SiO-PEG增透膜后的KDP晶体和K9玻璃,单波长透过率稳定在99.5﹪左
本文详细介绍了用于神光Ⅱ装置八路功率平衡的全自动精度小能量测量系统,并用自动控制半波片衰减装置对其性能进行了测定.系统稳定性精度优于1﹪(Rms),在线调试量程可达三个以上量级范围.
应用全相对论原子结构参数和方差理论,对细致谱线吸收的总效应作了简化处理,给出了一种比较实用的方法.
本文报道计算高温高密等离子体吸收谱的理论方法;该方法基于相对论原子理论,可以计算任何单元素以及多元素等离子体的谱分辨X射线吸收谱;应用了量子亏损理论,可以减小计算量.利用该方法计算有机分子CHO等离子体的吸收谱,计算结果与实验符合良好.通过理论计算与实验相比较,可对惯性约束核聚变(ICF)等离子体进行诊断分析,同时经实验验证的理论计算方法可为ICF研究提供必不可少的精密物理辐射参数.
本文用粒子模拟方法研究了强激光(～10W/cm)在欠稠密等离子体(～0.2n,n是临界密度)中的传播,通过Fourier频谱分析,探测到了1/2和3/2倍频的等离子体波,分析了其中的双等离子体衰变、受激Raman散射不稳定性过程,给出了电子的加热特征、超热电子的能量分布等.
本文介绍了高功率微波远场测量的原理和方法,并采用此方法对本实验室反射三极管装置所激励的高功率微波进行了测量,测得了辐射方向图,据此得到了辐射功率、分析了辐射模式.文中还采用截止波导对高功率微波的辐射频率进行了测定.结果表明:微波辐射功率超过300MW,辐射频率为2.8GHz,微波脉宽约150ns,辐射效率达5.9﹪;辐射模式包含TE等模式.
总结了小型化电感储能功率调节装置的研究.该装置总长1m,最大直径0.42m.用2μF电容器作初级能源,在80Ω负载上获得幅度大于700kV、脉宽大于100ns、上升时间小于50ns的脉冲电压.
本文提出了破坏形态因子的概念并以高功率连续激光作用下的光学材料的热力学响应为例,通过积分变换的方法给出激光作用期间温度场和应力场的解析形式,继而得到破坏形态因子的表达式及其简化形式,研究破坏形态因子与材料性质、激光参数的关系,从而预言特定的材料在特定的激光作用下的破坏形态.