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[期刊论文] 作者：吴振华,黄经筒,游本章,
来源：真空 年份：1992
本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上，发展了多功能受控电弧蒸发源，它可在自由电弧状态下运行，而在２００～２５０Ａ高参数运行时，可使阴极弧斑覆盖几乎整个阴极表面且多轨迹旋转，使阴极烧蚀均匀......
[会议论文] 作者：黄经筒,王理明,张福安,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
用试验的方法证明了在半导体器件制造过程中作为直写工具的电子束光刻技术其加速电压的高低一般不会影响业已做成的电路性能。...
[期刊论文] 作者：游本章, 黄经筒, 齐克修, 杨铁三,,
来源：电工电能新技术 年份：2004
我们在研究离子镀膜技术的过程中,实验成功高压单脉冲引弧方法,用于引燃离子镀膜机中的直流电弧。高压单脉冲引弧方法同目前现有的直流高压引弧方法和高频引弧方法相比,具有...
[期刊论文] 作者：黄经筒,吴振华,张祥龄,游本章,杨铁三,方国成,柏仲茹,齐克修,
来源：微细加工技术 年份：1986
本文介绍电子束投影复印曝光机的结构和性能。此复印曝光机的特点是采用电子束能够同时曝光大面积的图形,复印图形的面积为φ50毫米,最高分辨率为0.5微米。此复印曝光机可在...
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