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用试验的方法证明了在半导体器件制造过程中作为直写工具的电子束光刻技术其加速电压的高低一般不会影响业已做成的电路性能。
电子束福照对半导体器件性能影响的试验
【摘 要】
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用试验的方法证明了在半导体器件制造过程中作为直写工具的电子束光刻技术其加速电压的高低一般不会影响业已做成的电路性能。
【机 构】
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科学院电工研究所(北京)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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