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[学位论文] 作者：韩曼頔,
来源： 年份：2007
本文利用Nd-YAG激光器(波长为1064 nm,频率为10 Hz)做光源,用脉冲激光沉积法(PLD)分别以金属钛做靶材,在石英玻璃上沉积了纯锐钛矿型氧化钛薄膜和混晶氧化钛薄膜;以氧化钛为靶材沉积了氮掺杂氧化钛薄膜。当基片温度由600 oC升到800 oC时,薄膜的结构由随机生长的......
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