脉冲激光沉积法制备纳米氧化钛薄膜

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本文利用Nd-YAG激光器(波长为1064 nm,频率为10 Hz)做光源,用脉冲激光沉积法(PLD)分别以金属钛做靶材,在石英玻璃上沉积了纯锐钛矿型氧化钛薄膜和混晶氧化钛薄膜;以氧化钛为靶材沉积了氮掺杂氧化钛薄膜。当基片温度由600 oC升到800 oC时,薄膜的结构由随机生长的锐钛矿结构转变为(211)取向生长。通过对甲基橙溶液的降解测试发现随机生长的薄膜较(211)取向生长的薄膜具有更好的光催化性能;研究表明混晶的TiO_2薄膜比单一锐钛矿相的薄膜显示出更高的光催化效率,含金红石33%的薄膜具
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