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[期刊论文] 作者:陆伯印,曲兴华, 来源:仪器仪表学报 年份:1993
对于某些高精度的测量和精密加工,要求大位移量(50mm)、超微动量(纳米级)、且快速(1mm/sec)的定位驱动装置,以使滑架实现纳米精度的扫描和位移控制。我们已设计制造了“匀速...
[期刊论文] 作者:陆伯印,曲兴华, 来源:仪器仪表学报 年份:1995
可换向超声线性马达速度控制特性的研究陆伯印,曲兴华,赵美蓉(天津大学精仪系)0引言利用超声能量驱动马达的原理是:在一个传输棒(或板片)上,受安放在两边的两组压电晶体激励时,使棒上产......
[期刊论文] 作者:陆伯印,曲兴华, 来源:计量学报 年份:1995
叙述了一种采用电致伸缩原理利用压电晶体组件的变形实现精密直线微位移的装置,介绍了它的结构设计,控制波形及运动分析,电气驱动系统。在对该装置检测与试验的基础上对其速度控......
[期刊论文] 作者:曲兴华,陆伯印, 来源:微特电机 年份:1994
为实现微小位移要求,驱动电动机应具有高分辨率及稳定、大行程的能力,其控制应具有较高的自动化、智能化,现在广泛采用磁致伸缩及电致伸缩等方法实现以上目标。本文介绍了一种利......
[期刊论文] 作者:陆伯印,李军,, 来源:宇航计测技术 年份:1983
本文介绍一种带有压电传感器的开关式三座标测量头。这是一种完全新型的高精度动态测量头,其试验精密度已超过目前广泛应用在三座标测量机上的电触点式开关测头,本文从网络分...
[期刊论文] 作者:陆伯印,朱鸿锡, 来源:计量技术 年份:1992
本文主要介绍按正弦原理工作的角度回转装置的结构、特点和使用方法,并对其准确度进行了分析。...
[期刊论文] 作者:陆伯印,赵美蓉,, 来源:光学机械 年份:1992
精密机械和仪器需要高精度的导轨,滑动摩擦导轨与滚动或静压导轨相比,结构简单、导向性好、导轨谐振频率高,再加上新型减摩材料的应用,在高精度导轨领域中,滑动摩擦导轨有着...
[期刊论文] 作者:宋艳霞,陆伯印,, 来源:试验技术与试验机 年份:2003
本文阐述了一台三坐标测量机滑动螺旋传动装置的设计.由机械定位引起的误差小于2μm.且在高进给速度下,保持平稳运行.机械机构简单、安装调试方便、使用寿命长、灵敏度高、耐...
[期刊论文] 作者:陆伯印,赵美蓉, 来源:仪器仪表学报 年份:1996
我们为超精密测量系统开发了一种新型主动隔振系统。它由三套三维激光干涉仪传感器及六组压电位移执行器组成,以限制空间运动的六个自由度。实现实时补偿振动的功能。...
[期刊论文] 作者:宋艳霞,陆伯印, 来源:计量技术 年份:1997
本文在分析了三坐标测量机系统误差补偿方法的基础上,提出了一种新的误差补偿方法-12项法;建立了系统误差数学模型,并对该模型进行算法分析,展示了该方法在产品中的应用前景及方向。......
[期刊论文] 作者:赵美蓉,陆伯印, 来源:天津大学学报 年份:1999
介绍了一种新型的主级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用,该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”,其结构简洁紧凑,性能稳定,光路布局对称性好,不存在死......
[期刊论文] 作者:陆伯印,朱鸿锡, 来源:仪器仪表学报 年份:1993
一、引言现代科学遇到了识别与观察大尺寸、大面积的微观世界,以分子或原子的形态呈现出其表面结构。用以测量、加工和修整高集成化的硅片,定位精度达0.1μm;识别高密集...
[期刊论文] 作者:欧阳健飞,陆伯印,, 来源:宇航计测技术 年份:1987
提出了一种简单而有效的消除座标测量机机构误差的新方法。它不仅适用于座标测量机,而且也适用于精密机床。论述了所有测量单元的基本原理,详细介绍了光学系统的布局原理和方...
[期刊论文] 作者:K.P.Brich,赵美蓉,陆伯印,, 来源:国外计量 年份:1992
1.前言可靠的双向条纹计数,在理想的情况下,其干涉图形产生的两个正弦波形输出,既无直流偏移,相位差应是π/2。实际上,这些指标难于实现。因此,为了获得纳米级的程长分辨率,...
[期刊论文] 作者:曲兴华, 陆伯印, 郭敬滨,, 来源:微特电机 年份:2004
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[期刊论文] 作者:赵美蓉,曲兴华,陆伯印, 来源:中国激光 年份:2004
介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪.提出了耦合差动干涉的新方法.通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定性.该干涉仪结构简洁紧凑,光路布局对称性好,...
[会议论文] 作者:赵美蓉,曲兴华,陆伯印, 来源:中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会 年份:1999
该文研制了一种新型纳米导轨。该导轨为V形滑地摩擦导轨,其设计符合动力学原理,结构简单,精密极高,导轨系统自身的谐振频率很高。此外,运动副县长之间的摩擦磨损小,导轨运动灵活平......
[期刊论文] 作者:陆伯印,曲兴华,郭敬滨, 来源:仪器仪表学报 年份:1993
对于某些高精度的测量和精密加工,要求大位移量(50mm)、超微动量(纳米级)、且快速(1mm/sec)的定位驱动装置,以使滑架实现纳米精度的扫描和位移控制。我们已设计制造了“匀速...
[期刊论文] 作者:曲兴华,贾果欣,陆伯印, 来源:电子测量与仪器学报 年份:1998
纳米级驱动装置是纳米测量技术的关键器件,目前广泛采用压电材料制作变形元件实现超微直线位移。本文介绍的装置是一个精密机械与电气控制系统的组合体。Nanoscale driving...
[期刊论文] 作者:陆伯印,朱鸿锡,周胜,, 来源:计量技术 年份:1992
本文主要介绍按正弦原理工作的角度回转装置的结构、特点和使用方法,并对其准确度进行了分析。This paper mainly introduces the structure, characteristics and using m...
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