微小尺寸测量用直线驱动装置的原理及特性

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【摘要】

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叙述了一种采用电致伸缩原理利用压电晶体组件的变形实现精密直线微位移的装置，介绍了它的结构设计，控制波形及运动分析，电气驱动系统。在对该装置检测与试验的基础上对其速度控

【作者】

：

陆伯印曲兴华

【机构】

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天津大学

【出处】

：

计量学报

【发表日期】

：

1995年4期

【关键词】

：

纳米级测量位移驱动装置位移测量 Nanometer measurement Micro-displacement device diezoquartz

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叙述了一种采用电致伸缩原理利用压电晶体组件的变形实现精密直线微位移的装置，介绍了它的结构设计，控制波形及运动分析，电气驱动系统。在对该装置检测与试验的基础上对其速度控制特性进行了深入探讨，得出了有益的结论。

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