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[期刊论文] 作者:申家镜, 来源:材料导报 年份:2001
该项目采用高功率准分子激光照射固体碳靶,产生高能等离子体,在室温条件下快速沉积高品质大面积均匀纳米金刚石膜。经过三年攻关,已顺利完成各项任务指标。1 自行设计、...
[期刊论文] 作者:申家镜, 来源:中国激光 年份:1996
500W旋转开关准分子激光器黑龙江省牡丹江市光电技术研究所用了两年多的时间研制出EMJ-500准分子激光器,经中国计量科学院测试,其激光气体为XeCl,激光波长为308nn,最大激光功率为518W,单脉冲能量为0.9J,重复频率......
[期刊论文] 作者:彭鸿雁,金曾孙,李俊杰,申辉,赵立新,申家镜, 来源:高等学校化学学报 年份:2003
采用高功率和高频率准分子激光器在高真空及H2和N2气氛下沉积类金刚石膜.利用Raman光谱和电子衍射方法分析了膜的微结构.Raman光谱呈典型DLC膜的特征,G峰位于1 528 cm-1,D峰...
[期刊论文] 作者:彭鸿雁,申家镜,杨贵龙,邵春雷,魏雪峰,杨广亮,金曾孙, 来源:功能材料与器件学报 年份:2001
采用一种改进的热丝CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝CVD腔中设置一套红外线发生器,中心波长3.5μm,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气体分解加...
[期刊论文] 作者:彭鸿雁,申家镜,杨贵龙,邵春雷,魏雪峰,杨广亮,金曾孙, 来源:功能材料与器件学报 年份:2004
采用一种改进的热丝 CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝 CVD腔中设置一套红外线发 生器,中心波长 3.5μ m,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气...
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