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[学位论文] 作者：涂文迪,
来源： 年份：2017
随着科技的快速发展,微机电系统、大规模集成电路、超精密光学系统等制造领域对微纳米加工技术的要求越来越高,传统微纳米加工技术普遍存在亚表层损伤、热应力、工具磨损等问题,而电化学微纳加工技术因其无切削力、加工过程稳定,加工效率高、表面质量好等优势受......
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