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[会议论文] 作者：邓茂英,刘国雄,林论男,
来源：中国颗粒学会2002年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会 年份：2002
将奈米尺度的PZT微粉(~40nm)加入Pb-Zr-Ti的羧酸盐中可促使PZT薄膜由非晶质态转变成钙钛矿结构的反应动力性大大提高,同时使PZT膜的稳定性有所改善.加入PTZ奈米微粉的PZT薄膜,其形成钙钛矿结构所需制程后退火温度亦从之前的600℃降至500℃.此外PZT膜对于制程后......
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