【摘 要】
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将奈米尺度的PZT微粉(~40nm)加入Pb-Zr-Ti的羧酸盐中可促使PZT薄膜由非晶质态转变成钙钛矿结构的反应动力性大大提高,同时使PZT膜的稳定性有所改善.加入PTZ奈米微粉的PZT薄膜,其形成钙钛矿结构所需制程后退火温度亦从之前的600℃降至500℃.此外PZT膜对于制程后退火温度之抵抗能力亦在加入奈米微粉之后由700℃提升至750℃.在铁电特性方面,可由原先之(P)=20.5μC/cm和
【机 构】
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清华大学材料科学工程学系(新竹) 清华大学材料科学中心(新竹)
【出 处】
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中国颗粒学会2002年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会
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将奈米尺度的PZT微粉(~40nm)加入Pb-Zr-Ti的羧酸盐中可促使PZT薄膜由非晶质态转变成钙钛矿结构的反应动力性大大提高,同时使PZT膜的稳定性有所改善.加入PTZ奈米微粉的PZT薄膜,其形成钙钛矿结构所需制程后退火温度亦从之前的600℃降至500℃.此外PZT膜对于制程后退火温度之抵抗能力亦在加入奈米微粉之后由700℃提升至750℃.在铁电特性方面,可由原先之(P<,r>)<,700>=20.5μC/cm<2>和(E<,c>)<,700>=36.7kV/cm(700℃,1h)提高到(P<,r>)<,750>=23μC/cm<2>和(E<,c>)<,750>=38.5kV/cm(750℃,1h).造成以上特性改变的原因可能是因为奈米微粉的存在,促使异质成核发生在微粉的四周,均匀地扩展至整个膜层,使得结晶化的过程在瞬间便已完成,并且所形成的钙钛结构不易产生铅挥发效应所致.
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