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[期刊论文] 作者：杨武保,
来源：石油机械 年份：2005
磁控溅射技术已经成为沉积耐磨、耐蚀、装饰、光学及其他各种功能薄膜的重要手段。探讨了磁控溅射技术在非平衡磁场溅射、脉冲磁控溅射等方面的进步,说明利用新型的磁控溅射...
[学位论文] 作者：杨武保,
来源：中国科学院物理研究所 年份：2003
本文利用脉冲高能量密度等离子体法、直流高压辉光等离子体法以及电子回旋共振微波等离子体法实现了纤维状、高度取向纳米类金刚石薄膜的沉积并进行了综合分析.提出了一个低...
[期刊论文] 作者：杨武,保军,
来源：报刊之友 年份：2001
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[会议论文] 作者：杨武保;林立;,
来源：第八届全国新型炭材料学术研讨会 年份：2007
将利用等离子体辅助化学气相沉积技术沉积在A1基衬底上的由纳米颗粒组成、厚度为纳微米级的类金刚石薄膜利用砂布摩擦剥离,形成新型纳微米片炭粉体材料。AFM分析表明,剥离前...
[期刊论文] 作者：杨武保,吕反修,
来源：人工晶体学报 年份：2000
利用ＭＰＣＶＤ方法在玻璃基片上成功的制备了非常光滑、致密均匀的纳米金刚石膜。沉积工分为两步：成核，ＣＨ４／Ｈ２＝３％；生长，Ｏ２／ＣＨ４／Ｈ２＝０．３：３：１００；沉积过程中保持工作压力为４．０ｋＰａ，衬底温度５００℃。......
[期刊论文] 作者：杨武保,刘玉龙,
来源：中国表面工程 年份：2000
利用微波等离子体化学气相沉积技术在光学玻璃衬底上制备了金刚石膜，利用原子力显微镜技术及显微力学探针研究了膜层的表面形貌及显微力学特性。结果表明，金刚石膜的晶粒尺寸小......
[期刊论文] 作者：刘思用,林立,杨武保,,
来源：真空 年份：2007
本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为多功能镀膜机的意义,叙述了具体的改造方法,介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果。...
[期刊论文] 作者：刘思用,林立,杨武保,孙惠峰,,
来源：表面技术 年份：2007
利用高纯氮气和铝,采用离子反应镀的方法,在石英玻璃衬底上成功制得AlN薄膜。正交设计优化结果表明：AlN薄膜最大沉积速率达到0.81μm/min,其相应的工艺参数为：蒸发电压225V,轰...
[期刊论文] 作者：杨武保,蔡泽勇,赵震,其鲁,
来源：第十三届全国等离子体科学技术会议 年份：2007
在氢气和甲烷环境下，利用辉光等离子体放电制备了聚合物。形貌观察表明，该聚合物的外观特征为白色、略发黄、柔软、丝状，易碎为粉末状；显微特征呈层片状，层片中的白色、黄色物......
[期刊论文] 作者：杨武保,吕反修,唐伟忠,刘玉龙,朱克,
来源：中国表面工程 年份：2000
利用微波等离子体化学气相沉积技术在光学玻璃衬底上制备了金刚石膜，利用原子力显微镜技术及显微力学探针研究了膜层的表面形貌及显微力学特性。结果表明，金刚石膜的晶粒尺寸小......
[会议论文] 作者：罗志明,李国军,李迎春,李国栋,杨武保,
来源：粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会 年份：2017
利用真空镀膜技术可以实现粉体表面包覆、粉体表面改性以及粉体制备.计算分析了真空镀膜法粉体包覆时粉体粒径与真空镀膜装备设计、工艺参数之间的关系,认为通过倾斜滚动或者...
[会议论文] 作者：杨武保, 马双会, 赵震, 张守忠, 杜建,,
来源： 年份：2004
利用非平衡磁控溅射技术制备了掺Au氮化钛薄膜。实验观察及紫外-可见反射光谱分析发现, 所得薄膜明显偏暗;且在本文工艺范围内,随着Au掺杂量的增加,薄膜色彩变暗;随着工作气...
[期刊论文] 作者：赵中琴,吴中友,杨武保,刘鑫,江卫军,
来源：北京大学学报：自然科学版 年份：2006
利用气相沉积技术,制备了SixCy层和C层相间的硅碳复合薄膜材料。XRD测试和Raman光谱测试表明,该硅碳复合薄膜材料具有纳米微晶结构。电化学性能测试表明,该SixCy/C复合薄膜材...
[期刊论文] 作者：赵中琴,吴中友,杨武保,刘鑫,江卫军,
来源：北京大学学报（自然科学版） 年份：2004
利用气相沉积技术,制备了Six Cy层和C层相间的硅碳复合薄膜材料.XRD测试和Raman光谱测试表明,该硅碳复合薄膜材料具有纳米微晶结构.电化学性能测试表明,该SixCy/C复合薄膜材...
[期刊论文] 作者：杨武保,吕反修,唐伟忠,佟玉梅,于文秀,
来源：人工晶体学报 年份：2000
利用MPCVD方法在玻璃基片上成功的制备了非常光滑、致密均匀的纳米金刚石膜。沉积工艺分为两步 :成核 ,CH4 /H2 =3% ;生长 ,O2 /CH4 /H2 =0 .3∶3∶10 0 ;沉积过程中保持工作...
[期刊论文] 作者：赵中琴，吴中友，杨武保，刘鑫，江卫军，ZHAOZhongqi,
来源：黑龙江科技学院学报 年份：2006
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7...
[会议论文] 作者：杨武保[1]蔡泽勇[1]赵震[2]其鲁[3],
来源：第十三届全国等离子体科学技术会议 年份：2007
在氢气和甲烷环境下，利用辉光等离子体放电制备了聚合物。形貌观察表明，该聚合物的外观特征为白色、略发黄、柔软、丝状，易碎为粉末状；显微特征呈层片状，层片中的白色、黄色物......
[期刊论文] 作者：杨武保,杜建,赵震,翁永基,张守忠,董琪,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
在光学玻璃衬底上利用新型非平衡磁控溅射技术沉积了Ti／TiO2薄膜。原子力显微镜分析表明，薄膜表面光滑、致密、均匀，表面粗糙度（Ra）小于10nm，组成薄膜的颗粒尺寸小于100nm。膜厚测......
[期刊论文] 作者：王久丽,张谷令,范松华,杨武保,杨思泽,
来源：中国物理快报（英文版） 年份：2002
Based on our recently proposed grid-enhanced plasma source ion implantation (GEPSII) technique for innersurface modification of materials with cylindrical geome...
[期刊论文] 作者：王小兵,程勇,吕反修,王古常,孙斌,吝君瑜,杨武保,
来源：光学与光电技术 年份：2003
金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析....
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