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[会议论文] 作者：張威政,潘善鵬,姚斌誠,
来源：第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会 年份：2004
一小型化的三軸移動装置可架置於商業化的掃描電子顯微鏡的腔體内,由外部以程式驅動使其在掃描電子顯微鏡的真空系統下操作.X、Y軸是利用慣性力作用來驅動,於脈波200V操作下,最小移動位移量5nm.Z軸是由inchwom來驅動,最小位移量0.1nm.此三軸移動装置可用於奈米......
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