【摘 要】
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一小型化的三軸移動装置可架置於商業化的掃描電子顯微鏡的腔體内,由外部以程式驅動使其在掃描電子顯微鏡的真空系統下操作.X、Y軸是利用慣性力作用來驅動,於脈波200V操作下,最小移動位移量5nm.Z軸是由inchwom來驅動,最小位移量0.1nm.此三軸移動装置可用於奈米碳管與AFM、STM等探針的黏接及奈米生物樣本的檢測。
【机 构】
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工業技術研究院量測技術發展中心,台灣,新竹,300
【出 处】
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第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会
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一小型化的三軸移動装置可架置於商業化的掃描電子顯微鏡的腔體内,由外部以程式驅動使其在掃描電子顯微鏡的真空系統下操作.X、Y軸是利用慣性力作用來驅動,於脈波200V操作下,最小移動位移量5nm.Z軸是由inchwom來驅動,最小位移量0.1nm.此三軸移動装置可用於奈米碳管與AFM、STM等探針的黏接及奈米生物樣本的檢測。
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