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[期刊论文] 作者：杨磊,陆静,张大语,
来源：华侨大学学报:自然科学版 年份：2020
针对蓝宝石衬底超精密加工存在的抛光表面不稳定问题,对蓝宝石衬底铜抛-化学机械抛光(CMP)加工技术进行研究,系统探讨铜抛与CMP的抛光压力、转速和抛光时间对蓝宝石衬底表面...
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