【摘 要】
：
针对蓝宝石衬底超精密加工存在的抛光表面不稳定问题,对蓝宝石衬底铜抛-化学机械抛光(CMP)加工技术进行研究,系统探讨铜抛与CMP的抛光压力、转速和抛光时间对蓝宝石衬底表面
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(51475175),福建省科技计划项目(2018I0012),福建省厦门市科技计划项目(3502Z20173049),华侨大学研究生科研创新能力培育计划资助项目(18014080030)
论文部分内容阅读
针对蓝宝石衬底超精密加工存在的抛光表面不稳定问题,对蓝宝石衬底铜抛-化学机械抛光(CMP)加工技术进行研究,系统探讨铜抛与CMP的抛光压力、转速和抛光时间对蓝宝石衬底表面质量及加工效率的影响.综合评价各表面质量指标,结果表明:在满足表面质量对抛光工艺要求的前提下,采用铜抛的最佳工艺参数为铜抛压力98.0kPa,转速55 r•min^-1,铜抛时间30 min;化学机械抛光的最佳工艺参数为抛光压力215.6 kPa,转速60 r•min^-1,抛光时间120 min,由此可获得高质量、无损伤的蓝宝石衬底抛光
其他文献
目的 总结颅骨缺损修补的经验，寻找修补颅骨缺损的最佳材料。方法 选择美国Waltr Loranz公司生产的三维钛网01-7251系列或三维钛网HP-1172系列和武汉同济大学生物化工厂生产的
汽车各个系统研究越来越偏向电子化、智能化,其中轿车上转向系统的变化非常明显,轿车的转向系统由开始的机械转向系统到现在的电子控制动力转向系统,转向系统也越来越安全、
大兴安岭是我国重要的林业基地之一,国家始终十分重视该地区的保护。虽然该地区经历了长时间的演变,已经形成了一个内部较为稳定的生态系统,但是近些年依然出现了很多问题,对
目的探讨恶性血液病合并二重感染相关情况。方法对恶性血液病合并二重感染的临床资料进行回顾分析。结果有17例发生二重感染,占全部病例的9.5%,以呼吸道真菌感染占多数。二重
血管内皮生长因子（vascular endothelial growth factor，VEGF），又称血管通透因子（vascular permeability factor，VPF）是1989年Femra从牛垂体滤泡中的星状细胞体外培养液中首先纯化出
农业是中国的基础产业,农业生产过程中土壤和化肥是维护农业生产健康可持续发展的基础。以分析土壤肥料对农业健康可持续发展的作用为基础,指出应用过程中存在的问题,并针对
近年来，机械通气已成为，临床一种重要的治疗手段．但同时也给患者带来了许多生理、心理上的不适。舒适护理是一种人文性、个体化的、有效的护理模式，舒适护理应用于机械通气患者，使
大型油库项目在建设和运行过程中可能对区域环境造成不良影响,尤其是发生事故时可能对地下水造成一定的污染。以滨海地区拟建的某原油商业储备基地工程为例,采用GMS软件,对未
目前国内对光盘资源类型的划分还没有统一的标准,如何正确划分光盘资源的类型一直都是各图书馆棺⒌哪问题,本文从光盘的内容特征入手,论述了如何正确区分光盘出版物的类型.
文章以广州地铁运营为例 ,试分析其市场环境及竞争对手 ,采取有效的市场营销策略 ,促使地铁运营行业尽快地获取公交客运市场的领导地位 ,增加客运量 ,提高运营收入 ,从而减少