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[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：中国集成电路 年份：2002
本文阐述了半导体硅及硅基材料的工艺技术研究的进展,介绍了集成电路和器件的新的挑战和需求,展望了以满足器件需要、提高器件性能为导向的半导体硅及硅基材料的研发趋势和技...
[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：中国集成电路 年份：2006
本文阐述了用于纳米集成电路的大直径硅材料中传热、传质过程，硅中金属杂质元素行为以及点缺陷及其衍生缺陷的产生和运动规律，表面形态与表面质量控制等研究热点；介绍了绝缘体上......
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：Journal of Rare Earths 年份：2004
The development of rare earths (RE) applications to semiconductor materials and devices is reviewed. The recent advances in RE doped silicon light emitting diod...
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：中国科技产业 年份：2008
30年前．中共中央、国务院在北京隆重召开了全国科学大会．邓小平同志在大会开幕式上宣布“四人帮”肆意摧残科学事业．迫害知识分子的那种情况．一去不复返了。“他指出：“科学技术是......
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：中国工程科学 年份：2000
随着超大规模集成电路设计线宽向深亚微米级(...
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：稀有金属 年份：1996
近年来，稀土掺杂导体材料已成为引人注目的研究课题。本文阐述了硅和主要Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体中掺杂的原理、掺杂方法；材料的制备及其电学、光学性质，并简要介绍了目前稀土掺杂半......
[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：科技导报 年份：2014
先进材料是其他战略新兴产业的基础,采用先进材料已成为未来技术和新兴产业的标志和特征之一。中国工程院院士屠海令认为,先进材料的群体性出现以及众多颠覆性技术的应运而生...
[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：上海金属 年份：2008
叙述了大直径硅单晶生长,计算机数值模拟以及绝缘体上硅(SOI)、锗硅(SiGe)和应变硅等硅基材料的研究进展,讨论了硅中缺陷演化、杂质特性、缺陷工程和表面与界面质量控制,展望...
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：广东有色金属学报 年份：2005
High dielectric constant (high-k) materials are vital tothe nanoelectronic devices.The paper reviews research development of high-k materials, describes a varie...
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：科技潮 年份：2006
近年来，我院积极投身国家技术创新体系建设，加强前沿技术、关键共性技术的研发，为传统产业升级改造、首都高科技产业发展提供了强有力的技术支撑。 瞄准国家战略目标，发挥多学科交叉融合的优势，我院先后对组织结构和专业领域进行了几次大的整合，组建了8个国家级研......
[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：功能材料信息 年份：2006
本文阐述了大直径硅单晶的生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状；讨论了应变硅与绝缘体上硅（SOI）相结合的发展趋势；展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的......
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：稀土信息 年份：2008
三十年前，中共中央、国务院在北京隆重召开了全国科学大会，邓小平同志在大会开幕式上宣布：“‘四人帮’肆意摧残科学事业，迫害知识分子的那种情况，一去不复返了。”他指出：“科学技......
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：第五届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2004
本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状,讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势,展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景.......
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：中国有色金属学会第5届学术年会 年份：2003
综合评述了300mm硅片在晶体生长、杂质行为、缺陷控制、表面质量等方面的研究现状和硅基材料的开发进展情况,指出应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合是今后发展的一个趋势,而纳米集成电路用硅及硅基材料将是微电子产业蓬勃发展的基础和希望所在.......
[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：中国工业评论 年份：2017
“十二五”期间，我国新材料产业规模约为1.9万亿元，年增长率26%，国务院每年都要发布新材料产业的白皮书。虽然近两年的新材料产业投资数据没有发布，但据了解每年也至少在2万亿元......
[期刊论文] 作者：屠海令,
来源：稀有金属 年份：2017
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[会议论文] 作者：屠海令;,
来源：中国有色金属学会第七届学术年会 年份：2008
今年是集成电路发明五十周年。半个世纪以来,半导体硅及硅基材料支撑集成电路和信息产业的快速发展。近年来，光电子，光伏，固态照明产业方兴未艾，世界发达国家又相继开始“后摩尔......
[会议论文] 作者：屠海令,
来源：中国科协首届学术年会 年份：1999
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[会议论文] 作者：屠海令;,
来源：1998年中国材料研讨会 年份：1998
该文阐述了集成电路用半导体材料的完整性，均匀性及相关工艺设备与检测技术的发展趋势；当前大直径硅片的研究热点及硅基材料开发的新动向；跨世纪期间半导体材料产业发展及材料、......
[期刊论文] 作者：屠海令,,
来源：高科技与产业化 年份：2017
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