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[期刊论文] 作者：周文益,许军,刘佑室,黄敞,陈宇,
来源：微电子学与计算机 年份：1992
对用快速热合金方法(RTP)形成Ge/Pt/Au,Ge/Au/Ni/Au—n型GaAs的欧姆接触进行了对比研究。实级结果表明,在合金形貌和欧姆接触特性兼顾的情况下,Ge/Pt/Au和Ge/Au/Ni/Au有不同...
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