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[期刊论文] 作者:何竟欧,张松祥, 来源:华南师院学报(自然科学版) 年份:2004
本文报导了提高MOS中小规模集成电路管芯成品率的研究结果.单片管芯成品率最高达到67.9%,批量管芯成品率最高达到57.3%,平均管芯成品率稳定在37.5%~49.2%之间.In this paper...
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