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[会议论文] 作者：WANG Liang-cheng,ZHOU Wen-he,WANG Liang-bi,LIU Qian,HU Wan-Ling,LING Xiao-bo,王良成,周文和,王良璧,刘倩,胡万玲,令小波,
来源：第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛 年份：2009
介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的湿敏静态特性要求和湿敏静态特性测试系统，测试了感湿元件的静态湿敏特性，对测......
[会议论文] 作者：ZHOU Wen-he,周文和,WANG Liang-cheng,王良成,WANG Liang-bi,王良璧,HU Wan-Ling,胡万玲,LIU Qian,刘倩,LIN Xiao-bo,令小波,
来源：第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛 年份：2009
介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的动态响应特性要求和动态响应特性测试系统，测试了感湿元件的动态响应特性，对测试结果进行了分析。结果表明，本文测试的感湿元件满足课题的基本要求；感湿元件的栅状上电极的......
[会议论文] 作者：WANG Liang-cheng,王良成,ZHOU Wen-he,周文和,WANG Liang-bi,王良璧,LIU Qian,刘倩,HU Wan-Ling,胡万玲,LING Xiao-bo,令小波,
来源：第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛 年份：2009
介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的湿敏静态特性要求和湿敏静态特性测试系统，测试了感湿元件的静态湿敏特性，对测试结果进行了分析，此外，利用数值模拟对感湿元件的湿容特性进行了模拟。结果表明，本文测试的感......
[会议论文] 作者：ZHOU Wen-he,WANG liang-cheng,WANG Liang-bi,LIU Qian,HU Wan-ling,LING Xi ao-bo,周文和,王良成,王良璧,刘倩,胡万玲,令小波,
来源：第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛 年份：2009
通过氧化SiO2绝缘层、蒸镀平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化，以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料，制作了平行板电容式湿度传感元件。详......
[会议论文] 作者：ZHOU Wen-he,周文和,WANG liang-cheng,王良成,WANG Liang-bi,王良璧,LIU Qian,刘倩,HU Wan-ling,胡万玲,LING Xi ao-bo,令小波,
来源：第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛 年份：2009
通过氧化SiO2绝缘层、蒸镀平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化，以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料，制作了平行板电容式湿度传感元件。详......
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