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通过氧化SiO2绝缘层、蒸镀平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化，以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料，制作了平行板电容式湿度传感元件。详细介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理，对成品感湿元件的基本电特性进行了测试。结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、制作工艺正确，可满足进一步湿敏特性的测试要求。