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[会议论文] 作者：熊斌,中国科学院上海冶金研究所,黄小振,中国科学院上海冶金研究所,王跃林,中国科学院上海冶金研究所,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动频率为2.85KHz时,其带宽可达到32Hz,品质因子Q......
[期刊论文] 作者：中国科学院上海冶金研究所高频溅射小组,
来源：科学通报 年份：1975
高频溅射是近年来薄膜技术的重要发展。这是由于它能制备各种金属、半导体以及介质薄膜,并且具有膜纯、附着牢、成份可保持不变等特点,还可用反应溅射制备化合物薄膜。因此...
[会议论文] 作者：熊斌,中国科学院上海冶金研究所,黄小振,王跃林,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文报导了一种新型栅结构微机械陀螺的设计及制作,对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响,对陀螺的制作进行了讨论.理论分析表明,...
[会议论文] 作者：中国科学院上海冶金研究所,张永刚,李全魁,任尧成,李爱珍,陈建新,
来源：第五届全国分子束外延学术会议 年份：1999
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[会议论文] 作者：张永刚,李全魁,任尧成,李爱珍,陈建新,中国科学院上海冶金研究所,
来源：第五届全国分子束外延学术会议 年份：1999
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