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[期刊论文] 作者：J.J.McNally,王尚铎,,
来源：激光与红外 年份：1987
本文介绍用离子辅助淀积法制作的Ta_2O_5和Al_2O_3薄膜的特性。测量了用不同的离子能(300、500及1000eV)和离子流密度(0～200μAcm~(-2)轰击制作的膜的折射率和消光系数。Thi...
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