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[期刊论文] 作者:JGER Gerd,GRNWALD Rainer,MANSKE Eberhard,HAUSOTTE Tino,FβL Roland, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2004
伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长...
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