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[期刊论文] 作者：B.П.Л.иэyнoв,向东,,
来源：国外计量 年份：1990
为了保证大规模和超大规模集成电路制造工艺过程中在光掩膜板或半导体片上元件布局结构几何尺寸的计量统一,绝大部分生产厂家都是使用文献[1]中未规定的专用长度量具。这些...
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