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[学位论文] 作者：马信洲,,
来源：厦门大学 年份：2007
随着微机电系统、微光学、微芯片等领域的发展，促进了微／纳加工技术的发展与完善。微细加工技术是当今微机电系统领域研究的热点和核心，是人类探究微纳世界的必不可少的工具。一......
[期刊论文] 作者：卢维奇,马信洲,
来源：广东化工 年份：2020
《新材料》是材料化学专业课程,主要讲授与近代各种高新技术相关联的具有各种特殊性能的材料知识。《新材料》的中英双语教学已经在我校开展19年。根据这些年来的教学实践,作...
[期刊论文] 作者：麦满芳,马信洲,
来源：实验室研究与探索 年份：2018
电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用。为了能够实现低成本电子束直写微加工，提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的工作原理是通过编写Igor Pro程序控制NI PCI-...
[期刊论文] 作者：麦满芳,朱传云,李矩明,马信洲,
来源：电子元件与材料 年份：2019
采用旋涂法制备了基于铁电聚合物薄膜的Al/PVDF/SiO2/n-Si(MFIS)结构.通过测量MFIS结构的电容-频率特性和电容-电压特性,观察到负电容效应.测量频率越低,正向偏压越大,负电容...
[会议论文] 作者：汤儆,张力,马信洲,庄金亮,田昭武,
来源：第十四次全国电化学会议 年份：2007
半导体材料是微系统中最为重要的材料。其中Si的应用最为广泛，因其优良的电子和机械性能，Si的微加工已经成为微系统加工技术的核心技术之一。本文比较了三维微加工的电化学方法......
[会议论文] 作者：张力,汤儆,马信洲,田中群,田昭武,曲东升,丁庆勇,孙立宁,
来源：第十三次全国电化学会议 年份：2005
硅是微机电系统中(MEMS)应用最为广泛也是最为重要的材料,硅的微加工已经成为MEMS中的核心技术之一.光刻技术是目前硅微加工的主流技术,近来许多新技术不断涌现,意图寻找更为简单可控、经济且可以实现三维结构加工的微加工方法.电化学微加工技术作为一种很有潜......
[期刊论文] 作者：汤儆,马信洲,何辉忠,张力,林密旋,曲东升,丁庆勇,孙立宁,,
来源：物理化学学报 年份：2006
利用微圆盘电极技术,测定了KBr、L-胱氨酸和硫酸组成的刻蚀溶液体系中Pt电极表面电化学氧化产生的刻蚀剂Br2度分布,为约束刻蚀剂层技术（CELT）中刻蚀体系的选择和优化提供更直观...
[会议论文] 作者：张力[1]汤儆[1]马信洲[1]田中群[1]田昭武[1]曲东升[2]丁庆勇[2]孙立宁[2],
来源：第十三次全国电化学会议 年份：2005
硅是微机电系统中(MEMS)应用最为广泛也是最为重要的材料,硅的微加工已经成为MEMS中的核心技术之一.光刻技术是目前硅微加工的主流技术,近来许多新技术不断涌现,意图寻找更为...
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