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电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用。为了能够实现低成本电子束直写微加工，提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的工作原理是通过编写Igor Pro程序控制NI PCI-6251多功能板卡的电压输出,从而控制电子束的运动以实现微纳加工。结果表明,此方法能够应用于加工各种复杂的金微米结构，具有广阔的应用前景。