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[学位论文] 作者：阳罚军,,
来源：广东工业大学 年份：2016
在半导体制造中,为了确保更高的质量和精度,具有单晶圆加工技术的组合设备被广泛应用于晶圆加工。一台典型的单组合设备是由以下部件构成：一只用于搬运晶圆的机械手、两个真空......
[期刊论文] 作者：李文涛,白丽平,伍乃骐,阳罚军,,
来源：系统工程理论与实践 年份：2016
随着半导体晶圆生产加工变得越来越复杂,多组合设备也越来越频繁的被采用.多组合设备的调度关键在于怎么协调好相邻机械手的操作.针对拥有2-空间缓冲模块的单臂多组合设备,同...
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