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[期刊论文] 作者：郑冠武,
来源：信息周刊 年份：2020
通过分析工艺布局及洁净室各系统特点,结合生产需求,从洁净室系统调试规划、要点把握及问题预判等入手,开展12吋半导体厂房洁净室系统调试。...
[期刊论文] 作者：郑冠武,
来源：名城绘 年份：2020
摘要：从半导体领域AMC的种类描述开始，阐述半导体洁净室建设过程中的AMC的控制，通过实际案例的三个阶段分级控制，把握基本的要点，可以指导类似洁净室厂房建设过程的AMC控制。 关键词：半导体厂房;空气分子污染;控制;取样与监测; 近几年，随着半导体行业......
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