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通过分析工艺布局及洁净室各系统特点,结合生产需求,从洁净室系统调试规划、要点把握及问题预判等入手,开展12吋半导体厂房洁净室系统调试。
浅谈12吋半导体洁净室系统调试
【摘 要】
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通过分析工艺布局及洁净室各系统特点,结合生产需求,从洁净室系统调试规划、要点把握及问题预判等入手,开展12吋半导体厂房洁净室系统调试。
【机 构】
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中国电子系统工程第二建设有限公司
【出 处】
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信息周刊
【发表日期】
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2020年7期
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