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[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光学精密工程 年份:1998
作者用采样滤波器制成了用于弱光信号检测的高Q值自跟踪采样滤波器。介绍了它的数学基础和实验结果,以及工程中一些值得注意的实际问题。...
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光学精密工程 年份:1998
介绍了由作者的光谱范围从365至12000nm的高精度度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成,用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于2600nm和大于2600nm的波长范围内分别获......
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光学精密工程 年份:1996
文章叙述了大规模集成电路(LSI)等离子和反应离子刻蚀原理及在线监测刻蚀过程的基本方法。详述了用等离子发射光谱法进行LSI离子刻蚀过程监测的具体实施和实验结果,得到了80A的动态监测精......
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光学精密工程 年份:1998
利用所研制的KGZ-Ⅱ型高精光电折射仪,在5-10.6μm的光谱范围内,测量了由北京有色金属研究总院研制的锗的折射率,并与红外色散公式计算的结果进行了比较,分析了测量准确度的各项主要因素,给出......
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光学精密工程 年份:1997
叙述了用光学反射法在线监测LSI等离子及反应离子刻蚀过程和终点的监测原理与具体实施,所设计的仪器获得了优于80A的动态监测精度及小于0.3cm^2的最小监测面积,比较了用光学反射法和等离子发......
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:数据采集与处理 年份:1989
随着现代科学技术的发展,在诸如天文学、高分辨光谱学、遥感、生物医学及半导体工业等若干领域中,无一不和高精度光学设备息息相关,而这些仪器的设计在很大程度上都依赖...
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光机电信息 年份:1997
模块式光电多光谱扫描仪已成功地用于1993年4月至5月德国空间实验室D2飞行任务上,在纬度为±28.5°的范围内,对面积近七百万平方公里的地段成象。该相机系统的...
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光机电信息 年份:1996
遥感技术在农业和环境监测方面的应用,要求多光谱遥感成像具有较高的瞬时频率和较高的空间分辨率以满足实时监测的需要.一般由卫星传感器所获得的多光谱图像大多不能满...
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光机电信息 年份:1997
模块式光电多光谱立体扫描器MOMS-02在技术上是使用推扫原理并在1983年和1984年成功地用在STS-7和STS-11/41-B航天飞机的飞行任务中的第一个空间仪器MOMS-01的继续。装...
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光机电信息 年份:1997
模块式光电多光谱扫描仪已成功地用于1993年4月至5月德国空间实验室D2飞行任务上,在纬度为±28.5°的范围内,对面积近七百万平方公里的地段成象。该相机系统的突出特点是具...
[期刊论文] 作者:米宝永, 来源:光学精密工程 年份:1998
介绍了由作者研制的光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于2600nm和大于2600nm的波长范围内分......
[期刊论文] 作者:米宝永,南玉女,, 来源:光学机械 年份:1987
本文介绍了用于真空紫外波段内弱光光谱测量的光子计数系统,概述了它的设计原则,给出了有关指标的定量关系和实用线路。该系统具有从150A到1300A的波长覆盖范围和大于10~6的...
[期刊论文] 作者:宋克非,米宝永, 来源:仪器仪表学报 年份:2005
介绍了在该仪器上测量折射率值小于1.76和大于1.76的两种测量方法,给出了以计算机为核心的宽光谱高精度折射率全自动测量仪的基本组成、主要误差源和测控软件的一级数控流图,...
[期刊论文] 作者:米宝永,宋克非, 来源:数据采集与处理 年份:1998
在用等离子发射光谱技术监测大规模集成电路等离子刻蚀过程及科点时,为有效地抑制本底光对监测结果的影响,作者采用了双波长法和具有采样跟踪滤波器的锁相技术,从强光背景中提取......
[期刊论文] 作者:米宝永,宋克非, 来源:数据采集与处理 年份:1995
各种机械构件的残余应力其对疲劳强度,抗应力腐蚀能力,尺寸稳定性和使用寿命等有着直接影响,为寻求延长构件使用寿命的途径并改善其使用性能,采用非接触X射线光电测量法测定构件的......
[期刊论文] 作者:宋克非,米宝永, 来源:数据采集与处理 年份:1992
本文叙述了LSI和VLSI离子刻蚀工艺过程及终点监测的重要性以及发射光谱和激光反射干涉法的终点监测原理,锁相放大技术在PIE和RIE工艺过程监测中的应用。给出了整机电子学框图...
[期刊论文] 作者:宋克非,米宝永, 来源:数据采集与处理 年份:2001
针对星载紫外遥感仪器的长期稳定性和高测量灵敏度的要求,讨论了一种背景扣除技术——数字同步累加解调技术,实现了对太阳紫外光谱测量系统的背景噪声的实时扣除.采用了真空...
[期刊论文] 作者:米宝永,宋克非, 来源:数据采集与处理 年份:1989
δ调制法是一种能改善重复信号信噪比的简单而新颖的方法,可达到很好的时问分辨,这对于某些领域内的微弱信号处理是十分重要的。信号平均技术被广泛用来恢复深埋在噪声中的...
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