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[会议论文] 作者：王文襄,王晋林,吴斌,王麦广,
来源：全国空气动力测控技术交流会 年份：2002
本文简要介绍了作者用MEMS技术发展的几种适用于空气动力学试验研究的压阻压力传感器,包括小型、微型化、微量程及高温压力传感器....
[会议论文] 作者：王麦广,王文襄,朱作云,张轩雄,
来源：全国压力计量测试新技术学术研讨会 年份：1998
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[会议论文] 作者：王文襄,王麦广,刘秀娥,朱作云,李跃进,
来源：全国压力计量测试新技术学术研讨会 年份：1998
微型与微压均是压阻压力传感器制作中的难题，二者都要求就更难，作者应水工模型测量的要求开发了一种直径Φ５ｍｍ，量程１ｍＨ〈，２〉Ｏ，３ｍＨ〈，２〉Ｏ，测水且要背腔水密封的水工专用微型微压传感器。又应便携......
[期刊论文] 作者：朱作云,李跃进,王文襄,郭源生,王麦广,
来源：传感技术学报 年份：1996
绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低、通用...
[期刊论文] 作者：李华军,王文襄,王常有,郑建忠,王麦广,刘秀娥,
来源：医疗卫生装备 年份：1998
该微型呼吸压力传感器采用EI型梁膜结构的弹性敏感元件。应用在便携式呼吸机上，使呼吸机具备了多种供气方式、自动同步呼吸和自动监测报警等功能。...
[会议论文] 作者：王文襄, 刘秀娥, 王麦广, 张轩雄, 朱作云, 梁俊吾,,
来源： 年份：2000
压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案。取消隔离PN结是问题的关键。传统的SOS法很不理想。本文报道了作者在现代三维微电子技术及微机械加工技术基础上,用SDB法开...
[会议论文] 作者：王文襄,刘秀娥,王麦广,张轩雄,陆德仁杨根庆,
来源：全国空气动力测控技术交流会 年份：1999
０１硅压阻压力传感器因航空测试技术的要求而得到重视与发展，研究人员曾开发研制出中国第一只压阻压力传感器。然而普通的硅压阻压力传感器耐温潜力却受到隔离ＰＮ结的限制。先后出现......
[会议论文] 作者：王文襄,刘秀娥,王麦广,杨根庆,张杆雄,陆德仁,
来源：第六届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1999
压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案，克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想，该文报道了作者用微机械加工的硅衬底代替兰宝石衬底，用Si-Si直接键合工艺制作......
[期刊论文] 作者：王文襄,刘秀娥,王麦广,欧日青,陈大勇,文小健,王少秋,田金,
来源：测试技术学报 年份：1996
为创伤弹道学研究设计开发了外径6mm,量程20MPa,频响400kHz的可植入生物体内工作的压阻式微型高频高压传感器,背面感压的2mm直径的圆平膜弹性元件设计是最佳选择。激波管动态...
[会议论文] 作者：王文襄[1]刘秀娥[1]王麦广[1]张轩雄[2]陆德仁杨根庆[3],
来源：全国空气动力测控技术交流会 年份：1999
０１硅压阻压力传感器因航空测试技术的要求而得到重视与发展，研究人员曾开发研制出中国第一只压阻压力传感器。然而普通的硅压阻压力传感器耐温潜力却受到隔离ＰＮ结的限制。先后出现......
[期刊论文] 作者：朱作云,李跃进,杨银堂,柴常春,贾护军,韩小亮,王文襄,刘秀娥,王麦广,
来源：传感器技术 年份：2001
SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长 3C -SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器 ,并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传...
[期刊论文] 作者：王文襄,刘秀娥,王麦广,欧日青,陈大勇,文小健,王少秋,田金康,贾德贵,,
来源：测试技术学报 年份：1996
为创伤弹道学研究设计开发了外径6mm,量程20MPa,频响400kHz的可植入生物体内工作的压阻式微型高频高压传感器,背面感压的2mm直径的圆平膜弹性元件设计是最佳选择。激波管动态...
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