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空气动力学试验中的压阻压力传感器
空气动力学试验中的压阻压力传感器
来源 :全国空气动力测控技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sandybobo
【摘 要】
:
本文简要介绍了作者用MEMS技术发展的几种适用于空气动力学试验研究的压阻压力传感器,包括小型、微型化、微量程及高温压力传感器.
【作 者】
:
王文襄
王晋林
吴斌
王麦广
【机 构】
:
昆山双桥传感器研究所(昆山周庄)
【出 处】
:
全国空气动力测控技术交流会
【发表日期】
:
2002年9期
【关键词】
:
微机械加工
压阻压力传感器
空气动力学
实验设备
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本文简要介绍了作者用MEMS技术发展的几种适用于空气动力学试验研究的压阻压力传感器,包括小型、微型化、微量程及高温压力传感器.
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