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[期刊论文] 作者：李拴庆,
来源：仪器仪表学报 年份：1996
本文简要介绍了微机电系统制作用的基本腐蚀技术，包括各向同性腐蚀，各向异性腐蚀、牺牲层腐蚀、干法腐蚀、ＨＦ阳极腐蚀等。重点介绍了为制作三维微结构而开发出的ＬＩＧＡ工艺、磁控反应离......
[期刊论文] 作者：李拴庆,
来源：半导体情报 年份：1998
介绍了无铝激光器、宽波导激光器、展宽条形激光器及其它类型激光器、ＧａＮ基激光器 分布反馈激光器的发展现状。...
[期刊论文] 作者：李拴庆,刘玉平,
来源：采.写.编 年份：2003
调回河北以后带来一股清新的风1986年元旦,李文珊已回北京家中待命.他长期在高原超负荷工作,心脏受到一定损害,组织上拟在内地给予适当安排.他的爱人周熔是1960年进藏,已先期...
[期刊论文] 作者：李拴庆,刘玉平,
来源：采.写.编 年份：2003
在山西日报的十年 1949年4月，上级机关要加强《新华日报》(太行版)的力量，从太行区所属各地委抽调笔杆子，李文珊从此踏入新华日报大门。1949年8月，《新华日报》终刊，成建制转到山......
[期刊论文] 作者：李拴庆,付士萍,
来源：半导体技术 年份：2001
概述了微电子机械系统(MEMS)的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统(MOEMS)、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系...
[期刊论文] 作者：李拴庆,刘玉平,
来源：采.写.编 年份：2003
在雪域高原的二十七年1959年国庆前,李文珊正在阳泉钢铁公司采访,匆接编辑部来电:调西藏日报社.他风风火火赶回太原.报社领导说:"文珊,没办法,顶不住".省委书记陶鲁笳当年是...
[期刊论文] 作者：李拴庆,周立军,
来源：半导体情报 年份：1999
回顾了微机械加工技术的最新进展，介绍了自由空间微型光学试验平台和光预对准的概念以及微机械加工的光学器件实例。...
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