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[期刊论文] 作者：北京大学微电子学研究所,
来源：微纳电子技术 年份：2002
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[会议论文] 作者：李刚,微米/纳米加工技术国家重点实验室,李志宏,微米/纳米加工技术国家重点实验室,田大宇,微米/纳米加工技术国家重点实验室,武国英,微米/纳米加工技术国家重点实验室,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文采用了一种高度对称的四梁结构,并利用该结构开发了一种电容式三维加速度计.我们用有限元分析工具ANSYS 5.4对器件进行了模拟,模拟的结果显示该器件可以同时检测三个方面...
[会议论文] 作者：杨振川,微米/纳米加工技术国家重点实验室,李志宏,微米/纳米加工技术国家重点实验室,李婷,微米/纳米加工技术国家重点实验室,武国英,微米/纳米加工技术国家重点实验室,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文介绍了一种新型的电容式加速度计的设计方法和加工工艺.采用电容极板面积变化型检测电容和折叠型弹性梁提高了加速度计的线性度,使之可以开环工作.用有限元模拟工具ANSYS...
[学位论文] 作者：张璐,
来源：长春理工大学 年份：2006
本论文是在国家科技部集成光电系统973项目的支持下，于北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室完成的。 本文设计的一种全新的射流陀螺——MEMS射流角速率传感器，首次将ME...
[期刊论文] 作者：汲晓奇,
来源：科学中国人 年份：2017
自2006年起获首批“国家大学生创新性试验计划”资助进入“北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室”开始从事微机电系统技术领域学习研究，本科期间取得的科研成果在国际学术会议及sC！核心...
[期刊论文] 作者：,
来源：科学中国人 年份：2017
自2006年起获首批“国家大学生创新性试验计划”资助进入“北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室”开始从事微机电系统技术领域学习研究，本科期间在国际学术会议及SCI核心期刊上共發表第一、二作者论文5篇...
[会议论文] 作者：李刚,微米/纳米加工技术国家重点实验室,李志宏,田大宇,武国英,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文采用了一种高度对称的四梁结构,并利用该结构开发了一种电容式三维加速度计.我们用有限元分析工具ANSYS 5.4对器件进行了模拟,模拟的结果显示该器件可以同时检测三个方面...
[会议论文] 作者：杨振川,微米/纳米加工技术国家重点实验室,李志宏,李婷,武国英,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
本文介绍了一种新型的电容式加速度计的设计方法和加工工艺.采用电容极板面积变化型检测电容和折叠型弹性梁提高了加速度计的线性度,使之可以开环工作.用有限元模拟工具ANSYS...
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