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本文介绍了一种新型的电容式加速度计的设计方法和加工工艺.采用电容极板面积变化型检测电容和折叠型弹性梁提高了加速度计的线性度,使之可以开环工作.用有限元模拟工具ANSYS模拟的结果证明了设计的可行性.
一种高线性度的电容式加速度计
【摘 要】
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本文介绍了一种新型的电容式加速度计的设计方法和加工工艺.采用电容极板面积变化型检测电容和折叠型弹性梁提高了加速度计的线性度,使之可以开环工作.用有限元模拟工具ANSYS
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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