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[期刊论文] 作者：杨建华,张通和,
来源：机械工程师 年份：1996
表面处理的新方法强束流脉冲金属离子束处理技术南通工学院杨建华顾卫标北京师范大学张通和１引言目前，在铁基材料表面制备一层耐磨抗蚀合金层已成为一个急需解决的问题。而用离...
[期刊论文] 作者：杨建华,顾卫标,张通和,
来源：机械工程师 年份：1996
表面处理的新方法强束流脉冲金属离子束处理技术南通工学院杨建华顾卫标北京师范大学张通和１引言目前，在铁基材料表面制备一层耐磨抗蚀合金层已成为一个急需解决的问题。而用离...
[期刊论文] 作者：张通和,,
来源：微处理机 年份：1985
本文着重的讨论了缺陷(包括材料内在的和加工过程中引入的缺陷)对集成电路的危害。这些缺陷包括材料中的位错、沉积物和旋涡等。在光刻、氧化、扩散、离子注入、电子束蒸发和...
[期刊论文] 作者：张通和,
来源：物理实验 年份：2001
介绍了离子束形成、材料改性的科学意义及离子束在国民经济和国防中的地位和应用....
[期刊论文] 作者：张通和,,
来源：仪表材料 年份：1990
介绍了制备功能材料的新途径。根据实验结果评述了强脉冲金属离子注入的特点、性能相应用前景。讨论了与其相辅相成的多弧离子镀和多层多元离子束混合。这些技术在功能材料研...
[期刊论文] 作者：张通和,
来源：北京师范大学学报：自然科学版 年份：1989
用沟道技术测量给出了 N~+和 Bi~+轰击 InP 单晶的晶格损伤,计算了碰撞截面.该截面值与离子种类和离子的束流密度密切相关.利用碰撞理论推导出沟道背散射谱退道的最小产额与...
[期刊论文] 作者：张通和,
来源：核技术 年份：1990
本文给出了用背散射和沟道技术所分析的N~+和Bi~+注入InP中In和P原子位移的面密度分布。发现移位原子In和P面密度分布峰的深度随注入剂量的增大而加深。在相同的剂量下磷原子...
[期刊论文] 作者：张通和,
来源：微细加工技术 年份：2000
用大束流密度的钒金属离子注入硅，能够直接合成性能良好的薄层硅化物，随束流密度的增加，硅化钒相生长，薄层硅化物的方块电阻Ｒｓ明显下降吵流密度为２５μＡ／ｃｍ＾２时，Ｒｓ达到最小值２２Ω／□，说明连续的硅化......
[期刊论文] 作者：张通和,,
来源：国际学术动态 年份：1996
...
[期刊论文] 作者：张通和,
来源：微细加工技术 年份：1986
本文中给出了离子注入过程中的离子溅射效应。这包括入射离子在注入过程中所引起的表面溅射效应、注入离子浓度的剖面修正、注入离子在靶子中的收集量等参数与注入能量、剂量...
[期刊论文] 作者：张通和,,
来源：仪表材料 年份：1984
本文给出了当前离子注入在材料改性方面的发展概况。并列举了一些典型事例说明离子注入在材料改性方面的重要意义。This article gives the current development of ion im...
[期刊论文] 作者：张通和,
来源：核技术 年份：1987
在离子注入材料改性的研究过程中(金属、绝缘材料和光学材料等),在许多场合下,要求注入的元素(如Fe中注入N、Y、Ph和Sn等)在靶子中占百分之几的含量,这就要求注入剂量高达10...
[会议论文] 作者：张通和,
来源：中国电工技术学会第六届学术会议 年份：1999
该文中着重分析了离子注入提高离子束加工效益的途径，离子束工业生产发展两头和未来离子束技术在国民经济中的重要作用， 也给出了NEVVA离子注入技术在工业化生产中的特点和生产......
[期刊论文] 作者：张通和,吴瑜光,张通和,
来源：半导体学报 年份：2000
用金属蒸发真空弧离子源注入机将Ｙ离子注入硅，制备出特性良好的硅化物。用掠角沟道技术和透射电子显微镜分析了这种硅化物的结构。用束流密度为２５μＡ／ｃｍ＾２的Ｙ注入硅可形成三层结构的硅化......
[期刊论文] 作者：张通和,吴瑜光,张通和,
来源：半导体学报 年份：2000
用金属蒸发真空弧离子源注入机将 Y离子注入硅 ,制备出特性良好的硅化物。用掠角沟道技术和透射电子显微镜分析了这种硅化物的结构。用束流密度为 2 5μA/ cm2的 Y注入硅可形...
[期刊论文] 作者：李向阳,张通和,
来源：北京师范大学学报：自然科学版 年份：1999
研究了２种合金化的Ｔｉ－Ａｌ合金Ｔｉ－４８Ａｌ－２Ｃｒ－２Ｎｂ和Ｔｉ－４７Ａｌ－１Ｃｒ－１Ｖ－２．５Ｎｂ（含金含量均为原子分数）在８００和９００℃的恒温氧化行为，分析探讨了它们的高温氧化特征及合金元素对其高温氧化性能的影响，研究发现：８００℃时，二合金化Ｔｉ－Ａｌ合金的抗氧化性能要......
[会议论文] 作者：李向阳,张通和,
来源：第三届中国功能材料及其应用学术会议 年份：1998
比较了经几种稳定化处理后的离子注入剂量为3×10ions／cmNb的Ti-48at，℅Al合金在900℃空气中的恒温氧化行为，用AES分析了稳定化处理前后注入元素Nb在合金基冰中的分布情况，用调XR...
[期刊论文] 作者：张通和,张旭,
来源：Science in China(Series E:Technological Sciences) 年份：2002
Co synthesis silicides with good properties were prepared using MEVVA ion implantation with flux of 25-125μA/cm2 to does of 5×1017/cm2. The structure of the s...
[期刊论文] 作者：陈俊,张通和,
来源：功能材料 年份：1991
文中讨论了以Ti注入H_(13)钢与轴承钢为摩擦对偶的磨损特性。注入能量为100、180和300keV,与其相对应的饱和注入量分别为1.4×10~(17)、2.8×10~(17)和5.5×10~(...
[期刊论文] 作者：杨建华,张通和,
来源：表面技术 年份：1995
利用从金属蒸汽真空弧离子源（简称ＭＥＶＶＡ源）引出的钛离子对Ｈ１３钢（０．３５Ｃ６Ｃｒ１．５ＭｏＶ）进行了不同剂量的离子注入，结果表明，钛离子注入Ｈ１３钢能显著地改善其表面磨损性能，并能避免预热过程中氮化钢表面腐蚀。......
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