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[期刊论文] 作者：吉田庄一郎,喻德政,,
来源：半导体设备 年份：2004
为了进一步提高半导体集成电路的集成度,如何把微细图形制作在片子上成了重要课题。目前以普通光学手段的光刻方式仍占主流,但由于光的波长引起的衍射效应的影响,从根本上说...
[期刊论文] 作者：吉田庄一郎,关胜林,,
来源：微处理机 年份：1979
半导体集成电路向高集成度发展,在硅片上如何形成微小图形之技术是一个重要的课题,目前,紫外刻仍起主导地位,但是光波长引起的衍射现象便分辨率受到限制。因此,为了减少衍射...
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