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[学位论文] 作者：司朝伟,
来源： 年份：2009
电容式微机械加速度计是近年来在市场上取得巨大成功的加速度计,在消费市场和军工国防领域都有着广泛的应用。许多公司和研究机构都在致力于高精度或大量程的加速度计的研制,这其中低功耗和数字化是加速度计研究的两个重要方向。本文就是在分析了闭环加速度计检......
[期刊论文] 作者：蔡萌,司朝伟,韩国威,宁瑾,杨富华,
来源：微纳电子技术 年份：2020
提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺。ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对...
[期刊论文] 作者：司朝伟,韩国威,宁瑾,赵永梅,杨富华,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率...
[期刊论文] 作者：杨健,韩国威,司朝伟,赵永梅,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2014
综述了氮化铝面内伸缩模态的射频MEMS谐振器。氮化铝面内伸缩模态谐振器(contour-mode resonator,CMR)利用了氮化铝薄膜的压电效应,由器件的机械谐振再通过机电转化实现谐振...
[期刊论文] 作者：钟卫威,韩国威,司朝伟,宁谨,杨富华,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2013
This paper presents an SOI(silicon on insulator) MEMS(micro-electro-mechanical systems) vibratory gyroscope that was fabricated using bulk micromachining proces...
[期刊论文] 作者：刘楠,苏言,童鑫,韩国威,司朝伟,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果...
[期刊论文] 作者：侯云虹,张萌,韩国威,司朝伟,赵咏梅,宁瑾,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2016
Over the past several decades, the technology of micro-electromechanical system(MEMS) has advanced. A clear need of miniaturization and integration of electroni...
[期刊论文] 作者：刘庆,刘雯,司朝伟,黄亚军,杨富华,王晓东,
来源：微纳电子技术 年份：2023
针对微电子机械系统（MEMS）行业对3D加工日益增长的需求，提出了一种结合法拉第笼和倾斜衬底支架，利用改进的BOSCH工艺进行任意角度深硅刻蚀的创新工艺方案。首先通过仿真计算对法拉第笼的特征尺寸进行了优化，进一步采用法拉第笼和用于制备倾角的衬底支架，对BOSCH工艺参......
[期刊论文] 作者：康中波,韩国威,司朝伟,钟卫威,赵永梅,宁瑾,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器。详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结...
[期刊论文] 作者：宋培帅, 马静, 马哲, 张淑媛, 司朝伟, 韩国威, 宁瑾,
来源：激光与光电子学进展 年份：
最近二十年,量子定位系统(QPS)作为新型导航技术因其特有的信息传输优势得到飞速发展。本文简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,主要阐述了量子定位导...
[期刊论文] 作者：宋培帅, 马静, 马哲, 张淑媛, 司朝伟, 韩国威, 宁瑾,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2018
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Feed-through cancellation of a MEMS filter using the difference method and analysis of the induced n
[期刊论文] 作者：韩国威,司朝伟,宁瑾,钟卫威,孙国胜,赵永梅,杨富华,,
来源：Journal of Semiconductors 年份：2013
This paper presents and analyzes a notch observed in MEMS(micro electric mechanical system) filter characterization using the difference method.The difference m...
[期刊论文] 作者：宋培帅,马静,马哲,张淑媛,司朝伟,韩国威,宁瑾,杨富华,王,
来源：激光与光电子学进展 年份：2018
最近二十年,作为一种新型导航技术,量子定位系统（QPS）因其特有的信息传输优势得到了飞速发展。简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,阐述了量子定位导航系......
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