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[期刊论文] 作者:北京核仪器厂高纯锗题目组, 来源:核电子学与探测技术 年份:1986
一般制备平面型探测器的工艺是一面扩散锂制n~+,另一面蒸钯作p~+接触,国外有报道用离子注入结作p~+接触。我们在p~+接触方面用离子注入硼、蒸钯和蒸金等方法作了实验,并对比...
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