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[期刊论文] 作者：王盼,徐华蕊,朱归胜,李瑾瑾,付振哓,余艾冰,,
来源：应用激光 年份：2016
采用激光刻蚀实现了BaTiO_3薄膜上溅射Ag金属薄膜电极的图案化,并对激光刻蚀功率、激光刻蚀线间距以及点间距对图案微槽深度、刻蚀边缘整齐度和对底层BaTiO_3的影响进行了研...
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