【摘 要】
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氯化硫钝化是本实验室所发明的一种GaAs表面钝化新方法，已申请国家发明专利。最近，本实验室与电子工业部南京电子器件研究所合作，试验用氯化硫钝化来处理GaAs异质结双极型晶体管
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
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氯化硫钝化是本实验室所发明的一种GaAs表面钝化新方法，已申请国家发明专利。最近，本实验室与电子工业部南京电子器件研究所合作，试验用氯化硫钝化来处理GaAs异质结双极型晶体管。在所试验的一批管子中，特性均有不同程度的提高，电流放大系数一般提高一倍到一个量级，特别
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