【摘 要】
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利用低温水热合成工艺，在一定浓度比的Ｐｂ（ＮＯ）＿３，ＴｉＣｌ＿４的混合强碱性水溶液中，和在（１２０℃，０．２５ＭＰａ）的水热反应条件下，首次成功地在ＳｒＴｉＯ＿３（１１０）单晶衬底上生长出具有（１１０）面织构的ＰｂＴｉＯ＿３外延薄膜。Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散射／沟道（ＲＢＳ／Ｃ）分析表明薄膜外延质量较高
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所; 信息功能材料国家重点实验室;
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利用低温水热合成工艺，在一定浓度比的Ｐｂ（ＮＯ）＿３，ＴｉＣｌ＿４的混合强碱性水溶液中，和在（１２０℃，０．２５ＭＰａ）的水热反应条件下，首次成功地在ＳｒＴｉＯ＿３（１１０）单晶衬底上生长出具有（１１０）面织构的ＰｂＴｉＯ＿３外延薄膜。Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散射／沟道（ＲＢＳ／Ｃ）分析表明薄膜外延质量较高，沟道最低产额（Ｘ＿（ｍｉｎ））达０．４２。
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