【摘 要】
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为给上海电子束离子阱（Electron Beam Ion Traps，EBIT）装置提供低电荷离子，我们研制了小型金属蒸汽真空弧（Metal Vapor Vacuum Arc，MEVVA）离子源，可产生多种金属以及半导体材料的低电
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所,复旦大学现代物理研究所
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为给上海电子束离子阱（Electron Beam Ion Traps，EBIT）装置提供低电荷离子，我们研制了小型金属蒸汽真空弧（Metal Vapor Vacuum Arc，MEVVA）离子源，可产生多种金属以及半导体材料的低电荷离子。本文介绍小型MEVVA离子源的特性及其在上海EBIT装置上的离子注入实验。实验结果显示，合理控制注入参数可以使注入并被束缚在EBIT中的离子数密度达到10^8～10^9／cm^3。
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