提高光栅测量速度的有效方法─—大小数计数法

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计量光栅是一种数字化的光电测量技术,近年来已得到越来越多的应用。计量光栅测量系统的可靠性是它能否大量推广应用的主要问题,这一问题曾引起国内外的普遍重视。尽管在线路设计、装配工艺等方面都做出重大的改进,并在抑制干扰方面取得了良好的效果,使得光栅测量系统在指定的 Metering grating is a kind of digital photoelectric measurement technology, which has got more and more applications in recent years. The reliability of metrology grating measurement system is the main issue whether it can be widely applied, this issue has caused widespread attention at home and abroad. Although significant improvements have been made in circuit design and assembly processes, and good results have been achieved in suppressing interference, making the grating measurement system in the designated
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